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多功能分析型可變壓掃描電鏡

型 號Hitachi S-3700N

產(chǎn)品時間2024-06-24

所屬分類掃描電子顯微鏡(電鏡)

訪問量2441

產(chǎn)品描述:研究超大,超重,多功能分析型可變壓掃描電鏡可載樣品直徑達(dá)300mm;觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm; 在觀察110mm高樣品時可進行能譜分析
產(chǎn)品概述

研究超大,超重,多功能分析型可變壓掃描電鏡

 

● 可載樣品直徑達(dá)300mm

● 觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm

● 在觀察110mm高樣品時可進行能譜分析

● 樣品室設(shè)置多種接口,可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件

● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺可以傾斜--20°~+90° 

● 采用節(jié)能,清潔的渦輪分子泵

 

S-3700N多功能分析型可變壓掃描電鏡技術(shù)參數(shù)

分辨率SE 3.0nm,30KV(高真空模式)
10nm, 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm,30KV(低真空模式)
放大倍率x5~x300,000
加速電壓0.3~30KV
低真空范圍6~270Pa
圖像電位移±50μm (工作距離 10mm)
*裝載樣品直徑300mm

 

樣品臺

X150mm
Y110mm
Z5~65mm
R360°
T-20°~90°
觀測區(qū)域203mm直徑
樣品*高110mm(工作距離10mm)
樣品臺類型優(yōu)中心馬達(dá)臺

 

電子光學(xué)系統(tǒng)

燈絲預(yù)對中燈絲
物鏡光闌4孔活動光闌4孔活動光闌
槍偏壓固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓
探測器二次電子探頭
5分割半導(dǎo)體式被散射探頭
分析位置工作距離10mm,取出角35°

 

顯示控制系統(tǒng)

控制模式鍵盤鼠標(biāo)、操縱桿、旋鈕板
顯示器液晶顯示器
輔助功能3D動畫演示功能
電鏡操作導(dǎo)航功能
樣品操作導(dǎo)航功能
傾斜補償功能
存儲圖像精度640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
圖片格式BMP, TIFF, JPEG
圖像顯示模式全屏模式:1280 x 960
標(biāo)準(zhǔn)模式:640 x 480
分割模式:640 x 480 點 x 2
信號混合模式

 

真空系統(tǒng)

控制模式全自動
分子210升/秒,一臺
機械泵135升/分,一臺
保護措施斷電保護、漏氣保護

 

 

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